Trichlorosilane gred elektronik sihc13 adalah cecair tidak berwarna, mudah terbakar, menghakis dan mempunyai bau yang mencekik. Hidrolyze dengan cepat di udara basah untuk menghasilkan hidrogen klorida: takat didih 31.9 ':. Titik lebur 126.5 c:. Ketumpatan cecair 134ukgi rintangan: di udara "}",