Proses Pengurangan Trichlorosilane

Prinsipnya adalah untuk mengurangkan t richlorosilane ketulenan tinggi dengan hidrogen ketulenan tinggi pada teras silikon ketulenan tinggi pada kira-kira 1100 ℃ untuk menghasilkan silikon polihablur yang dimendapkan pada teras silikon. Berdasarkan proses tradisional Siemens, proses Siemens yang dipertingkatkan dilengkapi dengan proses sokongan penjimatan tenaga, pengurangan penggunaan, kitar semula dan penggunaan sejumlah besar H2, HCI, SiCI4 dan produk sampingan lain serta sejumlah besar by -tenaga haba pengeluaran. Dalam polysilicon ke dalam proses pengeluaran, menggunakan H2 mengurangkan kimia hidrogen silikon dalam rod silikon yang dihasilkan pada langkah-langkah polysilicon adalah langkah yang paling penting, proses kadar pengeluaran polysilicon kunci tinggi dan rendah juga terletak pada kawalan langkah-langkah proses, dengan itu untuk meningkatkan kadar pengeluaran polysilicon adalah titik utama kawalan langkah-langkah proses, dan langkah proses adalah di bawah keadaan proses reaksi suhu tinggi, penggunaan tenaga yang tinggi, Untuk mengurangkan penggunaan tenaga, ia juga perlu untuk mengawal langkah proses dengan munasabah.